基板外観検査装置 V22X-350
M22XCLモデル、M22Xfwモデル、M22Xfvシリーズの後継機種となります。

同じ22Xソフトウェアの採用による簡単操作を継承
・他のモデルと同じ検査機制御用ソフト「22Xソフトウェア」の採用により、扱いやすい操作性を継承し、他のモデルと同じ検査設定が行えます。
・生産管理・支援ソフトウェアのCatch Systemと連携が行えます。